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格隆匯5月24日丨有投資者在互動平臺向機器人(300024)(300024.SZ)提問,公司是否涉及高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域?目前進展如何?
公司回復(fù):公司半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)產(chǎn)品主要為自主研發(fā)的真空機械手及集束型設(shè)備,包括:大氣機械手、真空機械手等系列產(chǎn)品、EFEM、真空傳輸平臺,主要應(yīng)用在刻蝕、CVD、PVD、CMP、Descum、立式爐等工藝環(huán)節(jié)及領(lǐng)域,服務(wù)的下游行業(yè)是半導(dǎo)體工藝設(shè)備廠商。


